发明名称 |
具有STI区的非对称场效应半导体器件 |
摘要 |
一种高压非对称半导体器件(20),其包括浅沟槽隔离(STI)区(22),该浅沟槽隔离(STI)区(22)在漏极(34)和栅极(36)之间形成了允许高压操作的电介质,其中STI区包括下部拐角(24),使下部拐角(24)成形,例如圆形,以降低碰撞电离率。示范性地,成形的拐角终止于(111)晶平面。 |
申请公布号 |
CN101375404A |
申请公布日期 |
2009.02.25 |
申请号 |
CN200680053004.X |
申请日期 |
2006.12.11 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
西奥多·詹姆斯·莱塔维克 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L29/08(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈源;张天舒 |
主权项 |
1.一种非对称半导体器件(20),其包括浅沟槽隔离(STI)区(22),该浅沟槽隔离(STI)区(22)在漏极(34)和栅极(36)之间形成了电介质以允许高压操作,其中所述STI区包括被成形以降低碰撞电离率的下部拐角(24)。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |