发明名称 具有STI区的非对称场效应半导体器件
摘要 一种高压非对称半导体器件(20),其包括浅沟槽隔离(STI)区(22),该浅沟槽隔离(STI)区(22)在漏极(34)和栅极(36)之间形成了允许高压操作的电介质,其中STI区包括下部拐角(24),使下部拐角(24)成形,例如圆形,以降低碰撞电离率。示范性地,成形的拐角终止于(111)晶平面。
申请公布号 CN101375404A 申请公布日期 2009.02.25
申请号 CN200680053004.X 申请日期 2006.12.11
申请人 NXP股份有限公司 发明人 西奥多·詹姆斯·莱塔维克
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L29/08(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 陈源;张天舒
主权项 1.一种非对称半导体器件(20),其包括浅沟槽隔离(STI)区(22),该浅沟槽隔离(STI)区(22)在漏极(34)和栅极(36)之间形成了电介质以允许高压操作,其中所述STI区包括被成形以降低碰撞电离率的下部拐角(24)。
地址 荷兰艾恩德霍芬