基板处理装置

摘要

本发明涉及一种基板处理装置，分度器机械手具有第一以及第二基板保持机构、第一以及第二升降机构、转动机构和移动机构。第一以及第二基板保持机构分别具有臂部和手部，分别设置在第一以及第二升降机构上。第一以及第二升降机构分别独立地使第一以及第二基板保持机构进行升降动作。第一以及第二升降机构设置在转动机构上。转动机构设置在移动机构上。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：处理部，其用于对基板进行处理；搬入搬出部，其用于对所述处理部搬入以及搬出基板；所述搬入搬出部包含：容器装载部，其用于装载容纳容器，其中该容纳容器用于将多个基板容纳为多层；第一基板搬运装置，其用于在装载于所述容器装载部的所述容纳容器和所述处理部之间搬运基板；所述第一基板搬运装置具有：第一以及第二基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；移动机构部，其设置为能够在大致水平的一个方向上移动并且能够围绕大致铅垂方向的轴转动；第一进退机构部，其使所述第一基板保持部在大致水平方向上进退；第二进退机构部，其使所述第二基板保持部在大致水平方向上进退；第一升降机构部，其使所述第一进退机构部相对于所述移动机构部在大致铅垂方向上升降；第二升降机构部，其使所述第二进退机构部相对于所述移动机构部在大致铅垂方向上升降。