微机电激光扫描装置的单片式fθ镜片

摘要

本实用新型是有关于一种微机电激光扫描装置的单片式fθ镜片，为新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片所构成，具有一第一光学面及一第二光学面，是将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描关系的扫瞄光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点，并同时将扫瞄光线修正聚光于目标物上，满足特定的光学条件，可以达成线性扫描效果与高解析度扫描的目的。

主权项

1.一种微机电激光扫描装置的单片式fθ镜片，适用于微机电激光扫描装置，所述微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物；其特征在于所述的单片式fθ镜片由一新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片所构成，所述镜片具有一第一光学面及一第二光学面，可将所述微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点，并可将扫描光线修正聚光于所述目标物上；藉由所述单片式fθ镜片将所述微机电反射镜反射的扫描光线在一主扫描方向及一副扫描方向於所述目标物上成像。