镀制楔形膜用补正板

摘要

本实用新型公开一种镀制楔形膜用补正板，有基片(1)，在基片(1)上设有角形切口(2)。使用时将其固定于基板支架前，蒸镀的膜厚与旋转基板透过角形切口而面对蒸镀源的时间成正比，因此基板只要平放(而无需倾斜)于基板支架上即可。克服了现有技术所存在的缺点，具有可有效利用基板支架面积、增加单次蒸镀镜片装载数量、减少蒸镀时间、削弱膜层柱状结构化倾向、取消膜厚梯度最大值限制等优点。

主权项

1.一种镀制楔形膜用补正板，其特征在于：有基片(1)，在基片(1)上设有角形切口(2)。