| 发明名称 |
Vorrichtung zum Aufbringen einer dünnen Schicht auf ein Substrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19753596(B4) |
申请公布日期 |
2009.02.19 |
| 申请号 |
DE19971053596 |
申请日期 |
1997.12.03 |
| 申请人 |
SUESS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH |
发明人 |
ZIESLER, KLAUS-PETER |
| 分类号 |
B05C11/08;B05C13/02;G03F7/16;H01L21/00 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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