Hochfrequenzgenerator für Ionen- und Elektronenquellen

摘要

Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Einkopplung von Ionisationsenergie in eine induktiv oder induktiv-kapazitiv angeregte Ionen- oder Elektronenquelle. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst folgende Merkmale: ein Entladungsgefäß (4) für ein zu ionisierendes Gas; eine um das Entladungsgefäß (4) gewickelte Koppelspule (5) zur Einspeisung einer zur Plasma-Anregung notwendigen Hochfrequenz-Energie; einen mit der Koppelspule (5) elektrisch gekoppelten Koppelkondensator (22); einen mit der Koppelspule elektrisch gekoppelten Hochfrequenzgenerator (16). Der Hochfrequenzgenerator (16) bildet zusammen mit dem zumindest einen Koppelkondensator (22) einen Resonanzkreis aus. Ferner weist der Hochfrequenzgenerator (16) eine PLL-Regelungsvorrichtung (34) zur automatischen Impedanzanpassung des Resonanzkreises auf, so dass der Resonanzkreis mit einer Resonanzfrequenz betreibbar ist.