发明名称 |
Method of doping a silicon monocrystal |
摘要 |
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申请公布号 |
US3036006(A) |
申请公布日期 |
1962.05.22 |
申请号 |
US19590788789 |
申请日期 |
1959.01.26 |
申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
NISSL FRANZ |
分类号 |
C01B33/02;C22C1/04;C30B31/02;H01L21/00;H01L21/223;H01L29/167;H01L29/78;H01L31/18 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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