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摘要
申请公布号
JP2009507359(A)
申请公布日期
2009.02.19
申请号
JP20080514676
申请日期
2006.05.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;F16F15/02
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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