SOOT SENSOR WITH SMOOTH, PURE AL2O3 SURFACE

摘要

Zur Herstellung eines Rußsensorchips, bei dem eine Leiterbahnstruktur auf einem elektrisch isolierenden Untergrund aufgetragen wird, wird erfindungsgemäß der elektrisch isolierende Untergrund durch Entfernen von Bindemittel, insbesondere SiO2, von der Oberfläche eines Aluminiumoxid-Substrats oder durch Auftragen von Aluminiumoxid ohne Bindemittelzusatz auf die Oberfläche eines Substrats erzeugt. Ein erfindungsgemäßer Rußsensorchip weist eine Leiterbahnstruktur auf Saphir auf oder eine AI2O3-Oberfläche, die ohne SiO2-Zusatz aufgetragen oder gesintert ist oder in einer Reinheit von 99,99 Gew.-% aufgetragen oder gesintert ist oder eine gegenüber einer Brennhaut verringerte Oberflächenrauheit aufweist.