| 摘要 |
Es sind ein Verfahren und eine Koordinaten-Messmaschine (1) offenbart, womit die Nichtlinearitäten eines Interferometers (24) korrigiert werden können. Zur Messung ist in einer Ebene (25a) ein verfahrbarer Messtisch (20) vorgesehen. Das Substrat (2) ist auf den Messtisch (20) gelegt; wobei die Position des Messtisches (20) entlang einer jeder der Bewegungsachsen mit jeweils mindestens einem Interferometer (24) bestimmt wird. Ein Rechner (16) ist vorgesehen, der die einem jeden Interferometer (24) innewohnende Nichtlinearität kompensiert, wobei die durch die Interferometer (24) zu bestimmende Position des Messtisches (20) entlang einer Bewegungskurve (52, 60, 67) des Messtisches (20) angeordnet ist, die zumindest teilweise aus Komponenten der Achsen zusammengesetzt sind.
|
