Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号
DE60132944(T2)
申请公布日期
2009.02.19
申请号
DE20016032944T
申请日期
2001.04.12
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
JANSSEN, HENDRICUS WILHELMUS ALOYSIUS;RENKENS, MICHAEL JOZEFA MATHIJS;TABOR, ROB;VIJFVINKEL, JAKOB;SCHNEIDER, RONALD MAARTEN;BISSCHOPS, THEODORUS HUBERTUS JOSEPHUS
