自励、自感知压电悬臂梁传感器

摘要

一种压电悬臂梁传感器包括压电层和非压电层，所述非压电层的一部分附着到所述压电层。在一个实施方式中，所述非压电层的一端延伸超过压电层的所述端以提供悬伸。所述悬伸的压电悬臂梁传感器能够增加灵敏度，允许应用在例如液体介质的更粘性的环境中的设备，以及应用在比常规压电悬臂梁以更高流速的液体介质中。在另一个实施方式中，传感器包括第一和第二基底，并且将所述压电层和所述非压电层中的至少一个固定到所述第一和第二基底中的每一个以形成所述压电悬臂梁传感器。在该实施方式中，即使在经受相对高的流速时，在气体和液体介质中所述传感器都是坚固的并且呈现极好的感测特性。

主权项

1.一种悬臂梁传感器，包括：压电层，包括近端和远端；基底部分，耦合到所述压电层的近端；非压电层，包括近端和远端，其中所述压电层的至少一部分耦合到所述非压电层的至少一部分，使得所述压电层和所述非压电层是不同延的；以及电极，可操作地关联于所述压电层。