固体摄像装置以及放射线摄像装置

摘要

在半导体基板(12)的P^-型层(12c)的表面侧形成有N⁺型半导体区域(12d)，通过该N⁺型半导体和P^-型半导体构成光电二极管。在第一绝缘层(13)上形成有与隔离区域(12e)电连接的金属配线(14)。该金属接线(14)在邻接的N⁺型半导体区域(12d)之间沿着行方向以及列方向延伸设置，从光的入射方向看呈格子状。在第三绝缘层(16)上形成有信号读出线(53)。该信号读出线53由铝等金属构成，从光入射方向看位于N⁺型半导体区域(12d)的上方，沿着列方向延伸设置。

主权项

1.一种固体摄像装置，其特征在于：具有配列成二维状的多个光电变换元件，以及与所述光电变换元件电连接、用于读出该光电变换元件的输出的信号线，在邻接的所述光电变换元件之间沿着所述列方向和所述多个光电变换元件的行方向延伸设置的隔离区域，以及，与所述隔离区域电连接、并与参考电位相连的金属配线，其中，所述各光电变换元件，由第一导电型的半导体区域和在所述第一导电型的半导体区域的表面侧形成的第二导电型的半导体区域构成，所述信号线，在所述多个光电变换元件的每列上沿着该各列方向延伸设置，并位于所述光电变换元件的上方，从光入射的方向看，偏离在邻接的所述光电变换元件之间沿着所述列方向延伸的区域，同时横穿所述光电变换元件，所述金属配线，沿着所述列方向和所述行方向延伸设置，并位于所述隔离区域的上方，从光入射方向看，与所述光电变换元件的端部重合，所述信号线，从光入射方向看，偏离所述隔离区域中沿着所述列方向延伸的区域。