| 发明名称 | 充气设备与入气端口装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型一种与供气装置连接的充气设备，用以将气体导入半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备包含：至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，是设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。 | ||
| 申请公布号 | CN201196950Y | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200820112779.6 | 申请日期 | 2008.05.21 |
| 申请人 | 家登精密工业股份有限公司 | 发明人 | 陈建达;邱铭乾 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/673(2006.01);H01L21/677(2006.01);G03F1/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);B65D81/20(2006.01);B65B31/04(2006.01);F17C6/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1.一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；其特征在于该充气设备包含：至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。 | ||
| 地址 | 台湾省台北县 | ||