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经营范围
发明名称
SUSCEPTOR SYSTEM
摘要
申请公布号
EP1570108(B1)
申请公布日期
2009.02.18
申请号
EP20020808223
申请日期
2002.12.10
申请人
E.T.C. EPITAXIAL TECHNOLOGY CENTER SRL
发明人
MACCALLI, GIACOMO, NICOLAO;VALENTE, GIANLUCA;KORDINA, OLLE;PRETI, FRANCO;CRIPPA, DANILO
分类号
H01L21/687;H05B6/02;C23C16/46;C23C16/458;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/00;C30B31/12;C30B31/14;F27B14/06
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
地址
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