| 发明名称 |
一种场发射显示器的制作方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种场发射显示器的制作方法，其包括如下步骤：(1)提供一种工作板；(2)根据预定的显示点阵在工作板上沉积栅极电极；(3)在栅极上形成一层绝缘介质膜；(4)在绝缘介质膜上沉积催化剂层；(5)根据上述预定的显示点阵在催化剂层上形成绝缘层，使该绝缘层的相应于显示点阵的位置留有一空间；(6)通过化学气相沉积法在上述绝缘层的空间内，催化剂层上生长碳纳米管阵列；(7)在碳纳米管阵列上沉积阴极电极；(8)封装阴极电极并去除工作板；(9)用湿法刻蚀工艺去除绝缘层；(10)与带有阳极电极的荧光屏封装。 |
| 申请公布号 |
CN100463094C |
申请公布日期 |
2009.02.18 |
| 申请号 |
CN03114064.5 |
申请日期 |
2003.03.26 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
发明人 |
刘亮;范守善 |
| 分类号 |
H01J1/304(2006.01);H01J9/02(2006.01);H01J9/00(2006.01) |
主分类号 |
H01J1/304(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种制作场发射显示器的方法，包括如下步骤：(1)提供一种工作板；(2)根据预定的显示点阵在工作板上沉积栅极电极；(3)在栅极上形成一层绝缘介质膜；(4)在绝缘介质膜上沉积催化剂层；(5)根据上述预定的显示点阵在催化剂层上形成绝缘层，使该绝缘层的相应于显示点阵的位置留有一空间；(6)通过化学气相沉积法在上述绝缘层的空间内，催化剂层上生长碳纳米管阵列；(7)在碳纳米管阵列上沉积阴极电极；(8)封装阴极电极并去除工作板；(9)用湿法刻蚀工艺去除绝缘层与显示点阵相应的部分；(10)与带有阳极电极的荧光屏封装。 |
| 地址 |
100084北京市海淀区清华大学物理系 |
