发明名称 | 一种直拉晶体生长炉的拆装机构 | ||
摘要 | 本实用新型涉及直拉硅单晶棒生长炉子中热系统安装和拆除的一种快速拆装装置。一种直拉晶体生长炉的拆装机构,包括下炉筒(14)及由包括下石墨保温罩、软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及由包括中石墨保温罩和软毡或固化毡组成的中保温层(6),其特征在于,在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12),托板(12)支托一圆环状托盘(11),托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。本实用新型提供了一种直拉晶体生长炉内热系统快速拆装的装置和方法,改变了国内外现有技术方案,提高了单晶炉生产效率和降低了操作者的工作强度,具有显著的经济效益和技术先进性。 | ||
申请公布号 | CN201195762Y | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
申请号 | CN200820057574.2 | 申请日期 | 2008.10.31 |
申请人 | 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司 | 发明人 | 施承启;胡如权 |
分类号 | C30B15/00(2006.01) | 主分类号 | C30B15/00(2006.01) |
代理机构 | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张美娟 |
主权项 | 1.一种直拉晶体生长炉的拆装机构,包括下炉筒(14)及由包括下石墨保温罩、软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及由包括中石墨保温罩和软毡或固化毡组成的中保温层(6),其特征在于,在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12),托板(12)支托一圆环状托盘(11),托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。 | ||
地址 | 201314上海市南汇区南汇工业园区园迪路16号 |