| 发明名称 | 抗反射涂料 | ||
| 摘要 | 一种抗反射涂层，它包含：(i)具有下述通式的倍半硅氧烷树脂：(PhSiO<SUB>(3－x)/2</SUB>(OH)<SUB>x</SUB>)<SUB>m</SUB>HSiO<SUB>(3－x)/2</SUB>(OH)<SUB>x</SUB>)<SUB>n</SUB>(MeSiO<SUB>(3－x)/2</SUB>(OH)<SUB>x</SUB>)<SUB>p</SUB>，其中Ph是苯基，Me是甲基，x的数值为0、1或2；m的数值为0.01－0.99，n的数值为0.01－0.99，p的数值为0.01－0.99，和m+n+p＝1；(ii)聚环氧乙烷流体；和(iii)溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101371196A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200680052719.3 | 申请日期 | 2006.12.07 |
| 申请人 | 陶氏康宁公司 | 发明人 | P－F·付;E·S·莫耶 |
| 分类号 | G03F7/075(2006.01);G03F7/09(2006.01) | 主分类号 | G03F7/075(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 张钦 |
| 主权项 | 1.一种电子器件上形成抗反射涂层的方法，该方法包括：(A)施加ARC组合物到电子器件上，所述ARC组合物包含：(i)具有下述通式的倍半硅氧烷树脂：(PhSiO(3-x)/2(OH)x)mHSiO(3-x)/2(OH)x)n(MeSiO(3-x)/2(OH)x)p 其中Ph是苯基，Me是甲基，x的数值为0、1或2；m的数值为0.01-0.99，n的数值为0.01-0.99，p的数值为0.01-0.99，和m+n+p≈1；(ii)聚环氧乙烷流体；和(iii)溶剂；和(B)除去溶剂并固化所述倍半硅氧烷树脂，以在电子器件上形成抗反射涂层。 | ||
| 地址 | 美国密执安 | ||