METHOD FOR MANUFACTURING (110) SILICON WAFER,申请号EP20060797349-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING (110) SILICON WAFER
摘要
申请公布号	EP1955813(A4)	申请公布日期	2009.02.18
申请号	EP20060797349	申请日期	2006.09.04
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.	发明人	OISHI, HIROSHI
分类号	B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304	主分类号	B24B27/06
代理机构		代理人
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