| 发明名称 | 一种消除探针针迹偏移的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种消除探针针迹偏移的方法，其特征在于，包括如下步骤：A)将晶圆置于探针机器上；B)定位晶圆；C)判断晶圆的定位是否有误差，如有误差，执行步骤D)；如无误差，执行步骤E)；D)针迹检查，并对探针位置进行调节；E)利用测试机器对晶圆进行各项参数测试；F)卸载晶圆。本发明用于集成电路制造，可极大地减小电性参数的测量结果的误差，并避免晶圆的报废。 | ||
| 申请公布号 | CN101368990A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200710044851.6 | 申请日期 | 2007.08.14 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陈泰江;吴鹏 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R31/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种消除探针针迹偏移的方法，其特征在于，包括如下步骤：A)将晶圆置于探针机器上；B)定位晶圆；C)判断晶圆的定位是否有误差，如有误差，执行步骤D)；如无误差，执行步骤E)；D)针迹检查，并对探针位置进行调节；E)利用测试机器对晶圆进行各项参数测试；F)卸载晶圆。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||