激光转写装置及其转写方法和制造有机发光显示器的方法

摘要

本发明公开了一种激光转写装置、激光转写方法和使用该装置制造有机发光显示器的方法。该激光转写装置包括用于固定受体基底的卡板，用于将供体薄膜层压在受体基底上的层压单元位于卡板上。层压单元包括具有空腔的主体、用来将压缩气体注入到空腔中的气体注入口以及用于将注入到空腔中的气体排到基底上的气体排出口。用于使激光光束穿过层压单元照射到被层压的供体薄膜上的激光辐射器位于层压单元上。本装置可在供体薄膜与受体基底之间获得足够的接触力而在供体薄膜的转印层与受体基底之间不产生摩擦力。

主权项

1.一种激光转写装置，包括：用于固定受体基底的卡板；位于所述卡板上方的层压单元，其用于将供体薄膜层压在所述受体基底上，该层压单元包括具有空腔的主体、用来将压缩气体注入所述空腔中的气体注入口以及用于将注入所述空腔中的气体排到所述基底上从而在所述层压单元和供体薄膜之间形成均匀间隙的气体排出口；以及位于所述层压单元上方的激光辐射器，该辐射器发射激光光束使之通过所述层压单元照射到所述被层压的供体薄膜上。