| 发明名称 | 固体摄像装置的制造方法及固体摄像装置 | ||
| 摘要 | 在本发明的固体摄像装置中，在布线区域(3)上形成遮光膜(防光斑用的防反射膜)(4)，在摄像区域(2)上，由可构图材料形成透明膜(10)，形成透明膜(8)，所述透明膜(8)在透明膜(10)的上面形成微型透镜，将透明膜(10)的上表面和遮光膜(4)的上表面形成为一个平面。 | ||
| 申请公布号 | CN100463194C | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200410047324.7 | 申请日期 | 2004.05.31 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 酒勾宏;冈本博;永吉良一 |
| 分类号 | H01L27/14(2006.01);H01L21/31(2006.01);H04N5/335(2006.01) | 主分类号 | H01L27/14(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像装置的制造方法，所述固体摄像装置具有包括多个象素部的摄像区域和该摄像区域周围的布线区域，所述方法的特征在于，包括：第一步骤，在布线区域上面形成遮光膜，在摄像区域上面通过构图来形成透明膜；第二步骤，在上述透明膜的上面形成平坦膜；以及第三步骤，在该平坦膜上部形成微型透镜，在上述第一步骤中，将上述透明膜的上表面和上述遮光膜的上表面形成为一个平面，使用具有负型和正型中的、彼此不同的感光特性的抗蚀剂分别形成上述遮光膜和透明膜。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||