发明名称 CMOS图像传感器及其制造方法
摘要 CMOS图像传感器及其制造方法,通过在滤色器下形成光感测单元,改善光敏性并防止光损失。CMOS图像传感器可包括在半导体基片上形成的多个晶体管;在所述多个晶体管之上形成的金属线,用于电连接所述多个晶体管;以及多个光电二极管,与所述多个晶体管电连接并形成于所述金属线之上。
申请公布号 CN100463199C 申请公布日期 2009.02.18
申请号 CN200510137609.4 申请日期 2005.12.26
申请人 东部亚南半导体株式会社 发明人 孙贤浚
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 徐谦
主权项 1.一种CMOS图像传感器,包括:多个晶体管,形成于半导体基片上;金属电介质层,形成于其中形成有所述多个晶体管的半导体基片上;形成于金属电介质层中的金属线,用于电连接所述多个晶体管;多个光电二极管,形成于金属电介质层之上,通过金属线与所述晶体管电连接;直接形成在相应的光电二极管上的红、绿和蓝滤色器图案;形成于所述滤色器图案上的平坦化层;以及形成于所述平坦化层上的微透镜。
地址 韩国首尔