发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
CMOS图像传感器及其制造方法,通过在滤色器下形成光感测单元,改善光敏性并防止光损失。CMOS图像传感器可包括在半导体基片上形成的多个晶体管;在所述多个晶体管之上形成的金属线,用于电连接所述多个晶体管;以及多个光电二极管,与所述多个晶体管电连接并形成于所述金属线之上。 |
申请公布号 |
CN100463199C |
申请公布日期 |
2009.02.18 |
申请号 |
CN200510137609.4 |
申请日期 |
2005.12.26 |
申请人 |
东部亚南半导体株式会社 |
发明人 |
孙贤浚 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐谦 |
主权项 |
1.一种CMOS图像传感器,包括:多个晶体管,形成于半导体基片上;金属电介质层,形成于其中形成有所述多个晶体管的半导体基片上;形成于金属电介质层中的金属线,用于电连接所述多个晶体管;多个光电二极管,形成于金属电介质层之上,通过金属线与所述晶体管电连接;直接形成在相应的光电二极管上的红、绿和蓝滤色器图案;形成于所述滤色器图案上的平坦化层;以及形成于所述平坦化层上的微透镜。 |
地址 |
韩国首尔 |