用于高效气体分布装置的方法和设备

摘要

一种气体分布装置，配置为将处理气体向下游提供至等离子处理室的等离子管。该等离子管具有顶端。该装置包括体，其具有第一端。该第一端的宽度大于该等离子管，以及适于插入该顶端的突出端。该装置还包括气体入口，其垂直设置在该体内。该气体入口从该第一端向该突出端延伸并且该气体入口在延伸通过该突出端之前终止。该装置进一步包括多个定向的入口通道，其从该气体入口的下端延伸通过该突出端。

主权项

1.一种气体分布装置，其配置为将处理气体向下游提供至等离子处理室的等离子管，所述等离子管具有顶端，该气体分布装置包括：体，具有第一端，所述第一端宽度大于所述等离子管，以及适于插入所述顶端的突出端；气体入口，其垂直设在所述体中，从所述第一端向所述突出端延伸，在延伸通过所述突出端之前终止；以及多个定向的入口通道，其从所述气体入口下端延伸通过所述突出端。