| 发明名称 | 免封装压电驱动式微小型电场传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种免封装压电驱动式微小型电场传感器，该传感器主要由压电驱动元件和感应导体构成，与传统机加工的电场传感器相比，它具有结构简单、成本低、功耗低的优点。与基于微机电技术(MEMS)的微型电场传感器相比，它具有敏感结构免封装，可靠性高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101368988A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200710120281.4 | 申请日期 | 2007.08.15 |
| 申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 夏善红;叶超 |
| 分类号 | G01R29/12(2006.01) | 主分类号 | G01R29/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1.一种免封装压电驱动式微小型电场传感器，其特征在于，包括压电驱动元件、感应电极和支撑结构；压电驱动元件、感应电极分别固定在支撑结构上，压电驱动元件接地。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区北四环西路19号 | ||