晶圆无电镀用之流体处理系统及相关方法

摘要

一种化学品流体处理系统，用来供应数个化学品到混合歧管的数个流体输入部。化学品流体处理系统包括数个流体再循环回路，用来分别地预先处理及控制每一个化学品的供应。每一个流体再循环回路用来将特定的一个化学成分加以除气、加热、和过滤。混合歧管用来混合化学品以形成无电电镀溶液。混合歧管包括一流体输出，其系连接到供应管线。供应管线系连接以供应无电电镀溶液到位于无电电镀腔室内的流体槽。