大气交换方法

摘要

在此提供一用于交换处理设备之真空室的大气之方法，该处理设备被组构成在真空环境之下处理一基板。该方法包括以下步骤：使用该真空室中所提供之固持单元固持该基板；及经过排气或供气交换该真空室之大气，其中该交换步骤将压力维持在10帕(Pa)及10000帕间之范围中达10秒及600秒间之时期，同时将该真空室中所提供之集尘单元的温度控制为低于该基板之温度。