半导体结构与其形成方法

摘要

一种半导体结构，包括一耐火金属矽化层；一富矽耐火金属矽化层于该耐火金属矽化物上；以及一富金属耐火金属矽化层于该富矽耐火金属矽化层上。该耐火金属矽化层、该富矽耐火金属矽化层与富金属耐火金属矽化层包括相同的耐火材料。该半导体结构构成一金氧半元件之闸极电极的一部份。