直立式热处理装置及直立式热处理方法

摘要

本发明揭示一种直立式热处理装置及直立式热处理方法，其可在采用一双晶舟系统形式时藉由运用一简单结构来防止诸如地震等外力引起一晶舟载具机构上晶舟倾倒。直立式热处理装置1包括一加热炉5，其具有一炉埠5a；一盖子17，其系调适以关闭炉埠5a；一对基板保持工具4，各调适以一多层方式来保持多个基板W并经组态用以经由一绝热座19放置于盖子17上；及一升降机构18，其系调适以升高及降低盖子17以便相对于加热炉5来搬入及搬出各基板保持工具4。当一基板保持工具4在加热炉5内时，另一基板保持工具4系放置于一基板保持工具机台22上以在其上载入该等基板W。由于基板保持工具载具机构23，各基板保持工具4系在基板保持工具机台22与绝热座19之间搬运。向基板保持工具载具机构23，设一防倾倒部件37，其系调适以控制各基板保持工具4。