具有增长使用寿命及溅射均匀度的溅射靶材

摘要

一种用于溅射腔室的溅射靶材，其包含一背板并且该背板上安装有一溅射板。在一态样中，该背板包括一在正面具有环形沟槽的圆形板。该溅射板包含一具有溅射面及背面的圆盘，在该圆盘的背面具有环形凸脊，并且环形凸脊的形状与尺寸系塑造成能使该凸脊安装入该背板的环形沟槽中。