| 发明名称 |
聚矽氧涂覆组合物 |
| 摘要 |
本发明关于一组合物，其包括：(a)一具有至少一个如下式之重复单元之聚合物：#P 097103591P01.bmp其中R#sP!1#eP!系不可水解基团，且n为一介于1至3的整数；及(b)一交联触媒。该组合物可用于形成供光刻工业用之低k介电常数材料及具有抗反射性质之硬罩及底层材料。 |
| 申请公布号 |
TW200906989 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
| 申请号 |
TW097103591 |
申请日期 |
2008.01.30 |
| 申请人 |
ＡＺ电子材料美国股份有限公司 |
发明人 |
吴恒鹏;金羽圭;庄弘;卢炳宏;马克Ｏ 尼瑟;大卫Ｊ 雅达拉;张汝志 |
| 分类号 |
C09D183/04(2006.01);C08G77/06(2006.01);H01L21/312(2006.01) |
主分类号 |
C09D183/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
