具有抗反射特性之硬质罩幕组成物及使用其在基材上将材料图案化之方法

摘要

提供一种具有抗反射性质之硬质罩幕组成物。该硬质罩幕组成物适合用于光刻术且提供优异光学性质及机械性质。此外，该硬质罩幕组成物容易藉旋上施用技术施用。特别，该组成物对乾蚀刻具高度抗性。因此该组成物可用于提供一种可以高纵横比被图案化之多层薄膜。进一步提供一种使用该组成物形成图案之方法。