发明名称 | 载置台的表面处理方法 | ||
摘要 | 一种用于载置台之表面处理方法,其使载置表面顺应欲形成之基材而省时省工。该基材载置于该载置台之载置表面上,该载置台布置在于该基材上执行电浆处理之基材处理设备的机壳室中。该载置之基材受热膨胀。 | ||
申请公布号 | TW200908197 | 申请公布日期 | 2009.02.16 |
申请号 | TW097111203 | 申请日期 | 2008.03.28 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 青砥雅;菊池英一郎;熊政一;口公博 |
分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |