晶圆端面检查装置

摘要

用以照明晶圆之照明光学系统有两种类。一为周知之落射照明光学系统，其系使在照明光学系统6产生之照明光在半反射镜反射而偏向，通过成像光学系统4之一部分而照明晶圆1。另一者则正对晶圆1之端面配置，自倾斜方向扩散照明晶圆1的扩散照明光学系统7。扩散照明光学系统7系例如于基板上多数排列有LED11者之表面配置有扩散板12的面光源，系可自宽广区域以各种角度照明斜面部3。可藉由同时使用两种类之照明系统同时照明晶圆表面外周部2与表面斜面部3，而能同时检测出存在于晶圆表面外周部2与表面斜面部3两者的缺陷。