用于阵列模配置之自对准精确基准

摘要

一种用来将一晶粒模组阵列精确定位于一成像阵列中之方法，包括：直接形成物理参考基准于个别矽晶粒模组上；提供一暂时夹持具，该暂时夹持具包含一对准工具；藉由将物理参考基准抵接于对准工具，将晶粒配置于暂时夹持具；暂时将所配置晶粒紧固于暂时夹持具上；以及附装一永久基板于配置在暂时夹持具上之晶粒。