| 发明名称 | 电子元件及对准标记 | ||
| 摘要 | 一种对准标记，包括复数个条状，且彼此平行排列之第一主图案和间隔两相邻之第一主图案的第二主图案。第一主图案中形成复数个沟槽，第二主图案包括复数个岛状结构。 | ||
| 申请公布号 | TW200907608 | 申请公布日期 | 2009.02.16 |
| 申请号 | TW096128385 | 申请日期 | 2007.08.02 |
| 申请人 | 华邦电子股份有限公司 | 发明人 | 石大德 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 | ||