随机存取记忆体的电容之下电极的制作方法及其下电极

摘要

一种随机存取记忆体的电容之下电极的制作方法及其下电极，该方法包含形成一电极基材结构于一隔离层之凹槽内；沉积一金属层覆盖该电极基材结构；使该电极基材结构以及该金属层两者形成一化合物；以及去除该金属层未形成该化合物的部分。该下电极设于凹槽的壁面上，并由一电极基材结构与一金属层两者所形成之一化合物所形成。