控制基材斜边与边缘之薄膜研磨轮廓的方法与设备

摘要

提供研磨基材边缘上之薄膜的方法与设备。某些实施例中，提供具有背板之研磨头，该背板适于将研磨材料压向基材边缘上之薄膜。背板具有适于提供预定之薄膜轮廓的轮廓部分。亦提供许多其他态样。