解析装置、程式、缺陷检测装置、评估装置、解析系统及解析方法

摘要

本发明的课题在提供一种容易地指定可以有效检测出希望检出之缺陷之检测配方(Recipe)的技术。其解决手段为缺陷检测装置利用多个检测配方进行一个基板之缺陷检测，并针对每一检测配方产生与基板的缺陷位置，以及该缺陷的特征量相对应之缺陷资讯，而配方(recipe)装置针对由包含于缺陷资讯之缺陷中所选择之缺陷产生用于指定被选择之缺陷种类之评估结果资讯；解析装置取得缺陷资讯，评估结果资讯，并针对每一检测配方合计与具有要进行解析之缺陷种类相对应之缺陷之特征量相类似之特征量之缺陷个数。