环形挡板

摘要

本发明揭示一种用于蚀刻设备之档板组件。该档板组件包含一环及一下档板部分，具有在一凸缘部分和一下框架部分之间延伸的弯曲侧壁。一加热组件可存在于该下框架部分内以控制该档板的温度。该档板组件可辅助将电浆限制在该腔室的处理空间中。该环可包含碳化矽，并且该下档板部分可包含铝。