抗反射性聚合物、含有它之抗反射性组成物、及使用它以形成图案之方法

摘要

本发明系关于一种用于与具高折射率之抗反射膜交联之聚合物，及一种含有它之抗反射性组成物，其系特别适用于镶嵌制程及半导体制程中使用ArF(193nm)之浸渍式微影术。