发明名称 |
在基材上制造超-疏水性及-或超-亲水性表面之方法以及藉此所制造之物件 |
摘要 |
本发明系关于一种化学气相沉积方法,用来沉积多层材料,而于一给定表面上之各个不同位置提供超亲水性表面性质或超疏水性表面性质或此等性质之组合。本发明亦系关于利用超疏水性表面性质之各种产品应用,诸如电子装置、生物分析与诊断工具及光学装置(举例)。 |
申请公布号 |
TW200908114 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
申请号 |
TW097111852 |
申请日期 |
2008.04.01 |
申请人 |
应用显微结构股份有限公司 |
发明人 |
寇布兰 包里斯 |
分类号 |
H01L21/302(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/302(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
主权项 |
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地址 |
美国 |