使用感光性组成物形成区块图案的方法以及制造半导体元件的方法

摘要

一种形成区块图案的方法，包括：在基底的第一区域与第二区域上形成初步区块层，此初步区块层是用包含矽氧烷聚合物、交联剂、光酸产生剂以及热酸产生剂的感光性组成物来形成；选择性地将此初步区块层的第一部分曝光，使得基底的第一区域上形成交联图案，其中初步区块层的第一部分是形成在基底的第一区域上；以及移除初步区块层的第二部分，其中初步区块层的第二部分是形成在基底的第二区域上。