发明名称 |
相变化记忆体元件及其制造方法 |
摘要 |
一种相变化记忆体元件。第一介电层具有一侧壁。一下电极邻接第一介电层之侧壁,其中下电极包括一种晶层和一导电层。一第二介电层邻接下电极相对第一介电层之另一侧。一上电极,经由一相变化层耦接下电极。 |
申请公布号 |
TW200908293 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
申请号 |
TW096128178 |
申请日期 |
2007.08.01 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
萧在莒 |
分类号 |
H01L27/10(2006.01);H01L27/24(2006.01);H01L47/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/10(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
洪澄文;颜锦顺 |
主权项 |
|
地址 |
新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 |