发明名称 相变化记忆体元件及其制造方法
摘要 一种相变化记忆体元件。第一介电层具有一侧壁。一下电极邻接第一介电层之侧壁,其中下电极包括一种晶层和一导电层。一第二介电层邻接下电极相对第一介电层之另一侧。一上电极,经由一相变化层耦接下电极。
申请公布号 TW200908293 申请公布日期 2009.02.16
申请号 TW096128178 申请日期 2007.08.01
申请人 财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 发明人 萧在莒
分类号 H01L27/10(2006.01);H01L27/24(2006.01);H01L47/00(2006.01) 主分类号 H01L27/10(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区研新三路4号