预防碎片的系统及微影装置

摘要

本发明揭示一种预防碎片的系统，该预防碎片的系统经建构及配置以预防自一辐射源所发散之碎片随着辐射而自该辐射源传播至一微影装置中或内。该预防碎片的系统包括：一第一箔片收集器，该第一箔片收集器可围绕一旋转轴线而旋转；及一第二箔片收集器，该第二箔片收集器至少部分地封闭该第一箔片收集器。该第二箔片收集器包括相应于一用于置放一辐射源之中心位置而光学地敞开且相应于垂直于该旋转轴线之方向而光学地关闭的复数个箔片。