用以固持物件的固持装置，具有该固持装置的曝光装置，及使用该曝光装置的装置制造方法

摘要

一种适于固持一光学元件于一基底上方的固持装置，包含：至少两被固持构件，设于该光学元件外周的不同位置；及固持构件，设于该基底上方，与个别被固持构件相对应，该等固持构件系藉挠曲构件支撑于该基底上方。各被固持构件系藉相对应的固持构件而固持于一运动联结器内。