| 摘要 |
一种测试头操作器系统，包括：基座结构；主臂单元，配置成支撑测试头并且相对基座结构移动；促动器，具有动作范围Ｌ；以及加强机构，定位于主臂单元与促动器之间并且配置成使促动器所移动的第一距离引起主臂单元移动第二距离，此第二距离大于第一距离。此外，公开了一种控制测试头操作器系统的流体控制系统。此气动控制系统包括：调整器，配置成向主流体促动器可控地提供输出压力；以及第二流体控制促动器，配置成调节此调整器以改变提供到主流体促动器的输出压力。第二促动器配置成主动地定位于至少四个操作模式中，其中每个操作模式使得调整器向主流体促动器提供不同的输出压力。 |
