制作供发光二极体用之基板的方法及发光二极体

摘要

本发明揭露一种制作供发光二极体用之基板的方法及其发光二极体。制作供发光二极体用之基板的方法包含下列步骤：(a)提供一基板材料；(b)以乾蚀刻制程搭配遮罩，将基板材料之表面蚀刻成柱状结构；(c)以湿蚀刻制程将基板材料之表面上的柱状结构蚀刻成角锥状结构。藉此，本发明可制作出具有角锥状结构表面的基板。