敏辐射线性树脂组成物，层间绝缘膜及微透镜以及此等之形成方法

摘要

本发明系关于一种敏辐射线性树脂组成物，其系含有：[A]含有（a1）选自由不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所构成之群的至少一种、以及（a2）具有选自由环氧乙烷基及氧杂环丁基所构成之群的至少一种之基的不饱和化合物而成之不饱和化合物的共聚物；[B]1,2-　二叠氮化合物；以及[C]具有脂环式环氧乙烷基且不具有羧基之化合物。上述敏辐射线性树脂组成物系具有高的辐射线感度，具有在显像步骤中即使超过最适显像时间亦可形成良好的图型形状之显像边缘，可容易地形成密着性优之层间绝缘膜或微透镜。