| 摘要 |
本发明的课题是在于提供一种可使用低频率的电磁波之电浆处理装置。其解决手段是电浆处理装置（10）具有：处理容器（100）；微波源（900），其系输出微波；内部导体（315a），其系使从微波源（900）输出的微波传送；介电体板（305），其系接或接近内部导体（315a），使传送于内部导体（315a）的微波透过而放出至处理容器（100）的内部；及传播障碍部（例如沟300a），其系设于处理容器（100）的内面。可藉由将低频率的微波供给至电浆处理装置（10）来扩大制程窗口(process window)。 |
